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Mikrosystemtechnik für Ingenieure
von Wolfgang Menz, Jürgen MohrVöllig neubearbeitet: das erste umfassende Lehrbuch der Mikrosystemtechnik berücksichtigt die neuesten Trends dieses interdisziplinären Forschungsgebiets (u.a. LIGA, Siliziumtechnik, Anwendungen, z.B. in der Medizintechnik).